1. Full Trace 기반 다변량 분석

센서 Trace 데이터로부터 특성을 추출(Feature Extraction)하는 절차로 인한 정보 손실 (Information Loss)를 방지하고자 Full Trace를 모두 사용하여 다변량 분석(Multivariate Analysis) 수행

2. One-class 모델

정상 웨이퍼 보다 불량 웨이퍼가 극단적으로 적은 클래스 불균형(Class Imbalance)을 고려하고 정상 웨이퍼의 Trace 데이터만 가지고도 학습이 가능한 One-class 모델 

불량 웨이퍼는 이상치(Outlier)로 간주하여 탐지

3. Wafer-to-wafer Variation Free

센서 노이즈 (Noise)와 미세 드리프트(Drift)로 인하여 정상 웨이퍼임에도 Wafer-to-wafer Variation이 발생하는 경우에도 우수한 성능을 일관되게 보장하는 FDC 모델 

공정 이상의 주요 원인 정보인 공정 파라미터(Process Parameter)와 발생 시점을 제공하는 Fault Diagnosis 기능 수행

솔루션 문의가 없습니다.